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一种低辐射镀膜玻璃的光学参数检测方法
- 专利权人:
- 浙江大学
- 发明人:
- 刘涌,王慷慨,程波,宋晨路,韩高荣,杨振辉,王菊,苏婷
- 申请号：
- CN201310201073.2
- 公开号：
- CN103323403B
- 申请日:
- 2013.05.27
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2015
- 代理人:
- 韩介梅
- 摘要：
- 本发明涉及一种低辐射镀膜玻璃的光学参数检测方法，该低辐射镀膜玻璃为SnO2:F/SiCxOy，0＜x＜1，1＜y＜4，属于镀膜玻璃检测领域。该方法是在获得SnO2:F/SiCxOy节能镀膜玻璃椭圆偏振光谱的基础之上，引入五层膜层结构以及光学色散方程，通过迭代来回归实测椭偏光谱，最终获得SnO2:F/SiCxOy镀膜玻璃的膜层结构及其每一层的光学参数，利用该方法实现镀膜玻璃光学性能的在线实时监控。本发明仅采用光学测试手段来获得准确的膜层结构及光学参数，对样品无损伤、测量耗时少、测试方法简便，对被测样品表面无特殊要求，十分适合于SnO2:F/SiCxOy节能镀膜玻璃的性能检测。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
