PURPOSE: A manufacturing method of an electronic machine converting device is provided to reduce a change of the flatness of an insulating layer in the bottom of a gap without a process for removing a protrusion on a blocking wall. CONSTITUTION: A first insulating layer(2) is formed on a first substrate and a part of the first insulating layer is removed to form a blocking wall(3). A second insulating layer(10) is formed on an area of the first substrate. The second substrate is adhered to the blocking wall to form a gap. A vibration film facing the second insulating layer is formed from the second substrate. The height of the gap of the blocking wall is lower than the height of a central part. 절연층의 평탄성의 변동에 의해 생긴 절연파괴 강도의 변동을 저감한 전기기계 변환장치의 제조 방법을 제공한다. 전기기계 변환장치의 제조 방법에 있어서, 제1 기판 위에 제1 절연층을 형성하고, 제1 절연층의 일부를 제거해서 차단벽을 형성하고, 제1 절연층의 일부가 제거된 제1 기판의 영역 위에 제2 절연층을 형성한다. 다음에, 제2 기판을 차단벽 위에 접합해서 틈을 형성하고, 제2 기판으로부터, 틈을 거쳐서 제2 절연층과 대향하는 진동막을 형성한다. 차단벽을 형성하는 공정에서는, 제1 기판에 수직한 방향에 있어서 틈측의 높이가 중앙부의 높이보다도 낮아진다.
