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MAGNETIC FIELD MEASUREMENT DEVICE
专利权人:
株式会社日立ハイテクノロジーズ;HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORP
发明人:
OGATA KUNIOMI,緒方 邦臣,KANDORI AKIHIKO,神鳥 明彦,MIYASHITA TAKESHI,宮下 豪
申请号:
JP2018126599
公开号:
JP2020008304A
申请日:
2018.07.03
申请国别(地区):
JP
年份:
2020
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To detect whether there was generated an environmental magnetic field affecting measurement of a magnetic field measurement device inside a magnetic shield room (MSR) using a magnetic sensor for reference outside the MSR.SOLUTION: A magnetic field measurement device comprises an MSR 2, a magnetic sensor 3 provided inside the MSR, a magnet sensor 15 for reference provided outside the MSR, and an arithmetic device 9 to which magnetic field time-series data from the magnetic sensor and environmental magnetic field time-series data from the magnetic sensor for reference are input. The arithmetic device creates a detection signal by subjecting estimated environmental magnetic field time-series data inside the MSR estimated from the environmental magnetic time-series data to threshold value processing (107). The estimated environmental magnetic field time-series data is calculated so as to minimize prescribed evaluation functions of the magnetic field time-series data and the estimated environmental magnetic field time-series data. When the estimated environmental magnetic field time-series data is calculated, a magnetic field reduction effect per MSR frequency is applied to the environmental magnetic field time-series data (103).SELECTED DRAWING: Figure 4COPYRIGHT: (C)2020,JPO&INPIT【課題】磁気シールドルーム(MSR)の外部の参照用磁気センサを用い、MSRの内部の磁界計測装置の計測に影響を与える環境磁界の発生の有無を検知する。【解決手段】MSR2と、MSRの内部に配置される磁気センサ3と、MSRの外部に配置される参照用磁気センサ15と、磁気センサからの磁界時系列データ及び参照用磁気センサからの環境磁界時系列データが入力される演算装置9とを有し、演算装置は、環境磁界時系列データから推定されるMSRの内部における推定環境磁界時系列データにしきい値処理を行って検知信号を作成し(107)、推定環境磁界時系列データは、磁界時系列データと推定環境磁界時系列データとの所定の評価関数を最小とするように求められ、かつ、推定環境磁界時系列データを求めるにあたり、環境磁界時系列データに対してMSRの周波数毎の磁界低減効果が適用される(103)。【選択図】図4
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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