The present invention relates to a method of generating oxygen. The method addresses the objects of reducing the servicing work and improving the purity of the generated oxygen. According to the invention, the method comprises the steps of: providing an oxygen comprising gas at a primary side of a dense voltage drivable membrane applying a voltage between a conductive element at the primary side of the membrane and a conductive element at a secondary side of the membrane, the conductive elements being electrically connected to the membrane, wherein a plasma is generated at at least one of the primary side and the secondary side of the membrane, the plasma being used as conductive element.本発明は酸素を生成する方法に関する。この方法は、補給作業の減少及び生成した酸素の純度の向上を目的に取り組んでいる。本発明によれば、前記方法は、高密度の電圧駆動膜12の一次側に酸素含有ガスを供給するステップ、膜12の一次側にある導体素子と、膜12の二次側にある導体素子との間に電圧を印加するステップであり、前記導体素子は膜12に電気接続されている、電圧を印加するステップを有し、ここでプラズマ18、20は、膜12の一次側及び二次側の少なくとも一方の側に発生し、プラズマ18、20は、導体素子として使用される。