Christian Brockmann,Thomas Freitag,Christoph Knopf
申请号：
DE102015016060
公开号：
DE102015016060A1
申请日:
2015.12.11
申请国别(地区):
DE
年份:
2017
代理人:
摘要：
Der halbkugelige Elektrodenkopf (1) weist zwei Arbeitsflächen (12, 13) im Sinne einer real bipolaren Elektrode auf. Diese können beispielsweise lithographisch auch in komplizierten Umrissen erzeugt werden. Dargestellt sind Arbeitsflächen (12, 13), die als in ebener Projektion kreisringsektorförmige, konzentrisch angeordnete Zonen strukturiert sind. Im Zentrum liegt zudem eine weitere, in ebener Projektion kreisscheibenförmige Zone. Das Plasma wird dabei alternierend an beiden Polen (12, 13) gezündet. Liegen die einzelnen konzentrischen Zonen nahe genug beieinander, entsteht dennoch eine durchgängige Plasmaschicht.The hemispherical electrode head (1) has two working surfaces (12, 13) in the sense of a real bipolar electrode. These can be produced, for example, lithographically in complicated outlines. Shown are work surfaces (12, 13), which are structured as in a planar projection circular sector-shaped, concentrically arranged zones. In the center there is another, in plane projection circular disc shaped zone. The plasma is ignited alternately at both poles (12, 13). If the individual concentric zones are close enough to each other, a continuous plasma layer nevertheless results.
