A vacuum exhaust system for a sterilizer capable of vaporizing water vapor collected in hydraulic fluid of a first vacuum pump. A vacuum exhaust system of a sterilizer includes a sterilization chamber, a first vacuum pump connected to one side of the sterilization chamber, and steam flowing from the sterilization chamber is exhausted through the first vacuum pump. An oil mist trap part, a first vacuum pump and a second vacuum pump connected to the oil mist trap part. [Selection] Figure 1【課題】第１真空ポンプの作動油に捕集された水蒸気を気化させることができる滅菌装置の真空排気システムを提供する。【解決手段】滅菌装置の真空排気システムは、滅菌チェンバと、前記滅菌チェンバの一側に連結される第１真空ポンプと、前記滅菌チェンバから流入される蒸気が前記第１真空ポンプを経て排気されるためのオイルミストトラップ部と、前記第１真空ポンプと前記オイルミストトラップ部に連結される第２真空ポンプを含む。【選択図】図１
