光学传感器、光学测试设备以及光学特性检测方法
- 专利权人:
- 株式会社理光
- 发明人:
- 石井稔浩,高桥阳一郎,菅原悟,下川丈明,山下宙人,佐藤雅昭
- 申请号:
- CN201480052569.0
- 公开号:
- CN105578968B
- 申请日:
- 2014.26.09
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要:
- 一种光学传感器,包括:照射系统,包括至少一个光照射器以将光照射到测试的对象上;以及检测系统,检测从照射系统所照射的并且在测试的对象中所传播的光。此外,光照射器将非平行的多个光束照射到测试的对象的相同位置上。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心