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光学传感器、光学测试设备以及光学特性检测方法
专利权人:
株式会社理光
发明人:
石井稔浩,高桥阳一郎,菅原悟,下川丈明,山下宙人,佐藤雅昭
申请号:
CN201480052569.0
公开号:
CN105578968B
申请日:
2014.26.09
申请国别(地区):
CN
年份:
2019
代理人:
摘要:
一种光学传感器,包括:照射系统,包括至少一个光照射器以将光照射到测试的对象上;以及检测系统,检测从照射系统所照射的并且在测试的对象中所传播的光。此外,光照射器将非平行的多个光束照射到测试的对象的相同位置上。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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