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PARTICLE BEAM TRANSPORT APPARATUS AND METHOD OF TRANSPORTING A PARTICLE BEAM WITH SMALL BEAM SPOT SIZE
专利权人:
发明人:
申请号:
EP08804827.7
公开号:
EP2193525B1
申请日:
2008.09.26
申请国别(地区):
EP
年份:
2012
代理人:
摘要:
The present invention is related to an apparatus (10) for transporting a charged particle beam. The apparatus comprises: means (12) for scanning the charged particle beam on a target (3), a dipole magnet (15) arranged upstream of the means for scanning, at least three quadrupole lenses (17) arranged between the dipole magnet and the means for scanning and means for adjusting the field strength of said at least three quadrupole lenses in function of the scanning angle of the charged particle beam. The apparatus can be made at least single achromatic.La présente invention porte sur un appareil (10) pour transporter un faisceau de particules chargées. Lappareil renferme : des moyens (12) pour effectuer un balayage du faisceau de particules chargées sur une cible (3), un aimant dipolaire (15) agencé en amont des moyens pour effectuer le balayage, au moins trois lentilles quadripolaires (17) agencées entre laimant dipolaire et les moyens pour effectuer le balayage, et des moyens pour ajuster lintensité de champ desdites au moins trois lentilles quadripolaires en fonction de langle de balayage du faisceau de particules chargées. Lappareil peut être réalisé de façon à être au moins achromatique simple.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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