窒化アルミニウム（ＡＬＮ）ＰＶＤプロセスのためのガス冷却型最小接触面積（ＭＣＡ）静電チャック（ＥＳＣ）
- 专利权人:
- アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡＰＰＬＩＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ
- 发明人:
- ウェスト ブライアン ティー,ガジェンドラ マノイ エイ,ジェンブリンガム サンダラジャン
- 申请号：
- JP20170531262
- 公开号：
- JP2018501653(A)
- 申请日:
- 2015.11.04
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 静電チャックアセンブリ、処理チャンバ、および基板の温度を維持する方法を含む本開示の実施形態が提供される。１つの実施形態では、静電チャックと、冷却プレートと、ガスボックスとを含む静電チャックアセンブリが提供される。冷却プレートは、その中に形成されたガスチャネルを含む。ガスボックスは、ガスチャネルを通る冷却ガスの流量を制御するように動作可能である。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
