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METHOD AND APPARATUS FOR IMAGING THREE-DIMENSIONAL STRUCTURE
专利权人:
发明人:
Noam Babayoff,Isaia Glaser-Inbari
申请号:
US15468812
公开号:
US20170196664A1
申请日:
2017.03.24
申请国别(地区):
US
年份:
2017
代理人:
摘要:
An apparatus for determining surface topology of a portion of a three-dimensional structure is provided, that includes a probe, a light emitter, focusing optics, a detector, and a processor.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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