Disclosed are systems and methods of operation for capacitive radio frequency micro-electromechanical switches, such as CMUT cells for use in an ultrasound system. An RFMEMS may include substrate, a first electrode connected to the substrate, a membrane and a second electrode connected to the membrane. In some examples, there is a dielectric stack between the first electrode and the second electrode and flexible membrane. The dielectric stack design minimizes drift in the membrane collapse voltage. In other examples, one of the electrodes is in the form of a ring, and a third electrode is provided to occupy the space in the center of the ring. Alternatively, the first and second electrodes are both in the form of a ring and there is a support between the electrodes inside the rings.L'invention concerne des systèmes et des procédés de fonctionnement pour des commutateurs capacitifs micro-électromécaniques radiofréquence, tels que des cellules CMUT pour une utilisation dans un système à ultrasons. Un RFMEMS peut comprendre un substrat, une première électrode connectée au substrat, une membrane et une seconde électrode connectée à la membrane. Dans certains exemples, il existe un empilement diélectrique entre la première électrode et la seconde électrode et la membrane flexible. La conception d'empilement diélectrique réduit au minimum la dérive de la tension d'effondrement de la membrane. Dans d'autres exemples, l'une des électrodes se présente sous la forme d'un anneau, et une troisième électrode est prévue pour occuper l'espace au centre de l'anneau. En variante, les première et seconde électrodes sont toutes deux sous la forme d'un anneau et il y a un support entre les électrodes à l'intérieur des anneaux.
