高频CMUT
- 专利权人:
- 德克萨斯仪器股份有限公司
- 发明人:
- S·阿德勒,P·约翰逊,I·O·伍感特
- 申请号：
- CN201380011962.0
- 公开号：
- CN104160721A
- 申请日:
- 2013.03.15
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2014
- 代理人:
- 摘要：
- 一种高频电容性微加工超声换能器(CMUT)(300)具有硅膜(320)以及上覆的金属硅化物层(326)，它们一起形成能够在腔(322)上方振动的导电结构。CMUT还具有金属结构(330)，其接触一组导电结构。金属结构具有开口(334)，其完全延伸穿过金属结构以暴露导电结构。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
