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电极探针
- 专利权人:
- 日本来富恩株式会社
- 发明人:
- 田中裕生子
- 申请号:
- CN201380027075.2
- 公开号:
- CN104363847A
- 申请日:
- 2013.03.26
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2015
- 代理人:
- 摘要:
- 本发明提供一种电极探针,其具备具有探针柱10以及具有球状部分21的前端电极20的冲洗机构,在探针柱10的前端缩径部10A配置多个冲洗用开口112,在前端缩径部10A的内部形成多个倾斜内腔111,令探针柱10的外径为(D1),球状部分21的直径为(D2),从前端缩径部10A的后端到冲洗用开口112的前端缘的距离为(L1),从冲洗用开口112的前端缘到前端电极20的最大直径部分的距离为(L2),前端缩径部10A的倾斜角度为(β),倾斜内腔111的倾斜角度为(α)时,式:D2=D1+2(L2·tanα-L1·tanβ)成立,倾斜角度(α)为5.0~12.5°(除掉9.1~9.3°)。根据上述电极探针,能够使液体充分地与具有球状部分的前端电极的前端半球面接触。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址:
- http://www.ckcest.cn/home/