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基于混合遗传算法的极紫外多层膜结构参数反演方法
- 专利权人:
- 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 发明人:
- 喻波,姚舜,金春水
- 申请号：
- CN201510962157.7
- 公开号：
- CN105631193A
- 申请日:
- 2015.12.21
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2016
- 代理人:
- 王莹
- 摘要：
- 基于混合遗传算法的极紫外多层膜结构参数反演方法，属于极紫外光刻技术领域。解决了现有技术中极紫外多层膜结构参数的确定方法，不能兼备高效率和准确性的问题。本发明的反演方法，步骤如下：先通过多层膜的光学常数和目标结构参数，计算多层膜在固定波长、不同的掠入射角下的反射率，得到目标掠入射X射线反射谱；然后通过步骤一得到的目标掠入射X射线反射谱，采用遗传算法反演多层膜的结构参数，再采用单纯形算法继续反演多层膜的结构参数，得到最终的多层膜的结构参数；其中，遗传算法的迭代次数为20-50次，单纯形算法的迭代次数为200-400次。该方法反演多层膜的结构参数精度高，速度较快。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
