LEE JAEKOO,이재구,KANG, SUNG KIL,강성길,KIM, HO YOUNG,김호영,LEE JAEKOOUS,KANG, SUNG KILKR,KIM, HO YOUNGKR
申请号：
KR1020140046101
公开号：
KR1014669290000B1
申请日:
2014.04.17
申请国别(地区):
KR
年份:
2014
代理人:
摘要：
The present invention relates to a low frequency air plasma device for biomedical application that is capable of adjusting a temperature of an air gas to control an amount of ozone generated from plasma, thereby being stably used in a large-area low frequency air plasma device for biomedical application. The low frequency air plasma device for biomedical application includes: a heat generator disposed on each of a bulk layer and a ground electrode layer that are successively stacked on each other to adjust a temperature of an air gas, thereby controlling an amount of ozone generated from plasma； the bulk layer attached on a top surface of the heat generator to transmit the heat generated from the heat generator to a plasma generating module； and a ground electrode layer deposited on the bulk layer； and the plasma generating module having a dielectric layer and a power electrode layer that are successively stacked on the ground electrode layer and generating plasma.본 발명은 생의학용 대면적 저주파 에어 플라즈마 장치에서 에어 가스 온도 조절을 통해 플라즈마에서 발생되는 오존의 양을 제어하여 안정적으로 사용할 수 있도록 한 생의학용 저주파 에어 플라즈마 장치에 관한 것으로, 차례로 적층된 벌크층 및 그라운드 전극층의 하부에 구성되어 에어 가스 온도 조절을 통해 플라즈마에서 발생되는 오존의 양을 제어하기 위한 열 발생기；상기 열 발생기에서 발생된 열을 플라즈마 발생 모듈로 전달하기 위하여 열 발생기의 상면에 부착되는 벌크층 및 벌크층 상에 증착되는 그라운드 전극층；상기 그라운드 전극층상에 차례로 증착되어 적층 형태를 갖는 유전체층 및 파워 전극층을 구비하고 플라즈마를 발생하는 플라즈마 발생 모듈；을 포함하는 것이다.
