The present invention relates to an ozone treatment device and ozone treatment method, which are for preventing degradation due to ozone of a seal member air-tightly sealing a treatment space performing ozone treatment. The ozone treatment device (100) comprises: a light source unit (10) including a window member (12) penetrating ultraviolet rays and emitting the ultraviolet rays through the window member (12) a stage (21) facing the window member (12) and placing an object (work (W)) to be treated the seal member (17) which is a space between the window member (12) and the stage (21) and air-tightly sealing a treatment space in which the surface of the object to be treated, which is placed on the stage (21), is exposed to the ultraviolet rays emitted by the light source unit (10) at atmosphere including the ozone and a barrier gas supply unit (a barrier gas supply path (16d), a barrier gas supply inlet (16e)) supplying barrier gas for protecting the seal member (17) along at least a part of the seal member (17).COPYRIGHT KIPO 2018[과제] 오존 처리를 행하는 처리 공간을 기밀하게 봉지하는 시일 부재의 오존에 의한 열화를 방지한다.[해결 수단] 오존 처리 장치(100)는, 자외선을 투과하는 창 부재(12)를 갖고, 창 부재(12)를 통해 자외선을 발하는 광원부(10)와, 창 부재(12)에 대향 배치하고, 피처리 물체(워크(W))를 재치하는 스테이지(21)와, 창 부재(12)와 스테이지(21) 사이의 공간이며, 스테이지(21)에 재치된 피처리 물체의 표면이, 오존을 포함하는 분위기 중에서 광원부(10)로부터 발한 자외선에 노출되는 처리 공간을 기밀하게 봉지하는 시일 부재(17)와, 시일 부재(17)의 적어도 일부를 따라 당해 시일 부재(17)를 보호하기 위한 배리어 가스를 공급하는 배리어 가스 공급부(배리어 가스 공급로(16d), 배리어 가스 공급구(16e))를 구비한다.
