The present invention relates to a disk-shaped microelectrode composed of an ITO electrode and a parylene-C insulating layer formed on a glass substrate, and a method of measuring electric impedance using the same. According to the present invention, Layer was prepared and the microelectrode useful for measuring the electrical impedance was prepared by controlling the exposure radius of the ITO electrode to the parylene-C insulating layer in the microelectrode. In addition, through FEM simulations and experimental results, we found that the structural factors affect the impedance characteristics of the microelectrode system in the low frequency region. Based on these results, it has been suggested that the detailed properties of the electrical properties of the electrode system can optimize the level of electrical stimulation or sensitivity of the impedance measurement.본 발명은 유리 기판 위에 형성된 ITO 전극 및 파릴렌-C 절연층으로 구성된 디스크 형태의 마이크로전극과 이를 이용하여 전기 임피던스를 측정하는 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, ITO 전극과 파릴렌-C 절연층으로 구성된 마이크로전극을 제조하고, 상기 마이크로전극에서파릴렌-C 절연층에 대한 ITO 전극의 노출 반경 조절을 통하여 전기 임피던스 측정에 유용하게 사용되는 마이크로전극을 제조하였다. 또한, FEM 시뮬레이션과 실험적인 결과들을 통하여, 구조적인 인자가 낮은 주파수 영역에서 마이크로전극 시스템의 임피던스 특성들에 영향을 준다는 것을 밝혀냈다. 이러한 결과를 기초로, 전극 시스템의 전기적 특성의 자세한 특성은 임피던스 측정의 전기 자극 또는 민감도의 레벨을 최적화시킬 수 있음을 제시하였다.
