光学扫描探针
- 专利权人:
- HOYA株式会社
- 发明人:
- 田代佳之,北辻真史,横山精一
- 申请号：
- CN201280019677.9
- 公开号：
- CN103492857A
- 申请日:
- 2012.01.23
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2014
- 代理人:
- 摘要：
- 该光学扫描探针具有：柔性管、光纤以及物镜，其中，所述光纤用于传输扫描光，其被支撑以能够围绕在所述柔性管中心的轴旋转；所述物镜与光纤整体地旋转，并且具有将扫描光从发散光束转换为平行光束或者会聚光束的正的光学功率，所述扫描光影被从光纤传输。所述物镜配置有使所述扫描光偏斜以利用扫描光照射目标的挠曲表面。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
