Die Erfindung betrifft eine Energiefiltervorrichtung (1, 23) für Teilchenstrahlung (3) geladener Teilchen (3), die zumindest eine Fokussierungseinrichtung (12, 20, 27, 28, 29), sowie zumindest eine Strahlungsseparationsvorrichtung (15, 17, 25, 30, 37) aufweist. Die zumindest eine Fokussierungseinrichtung (12, 20, 27, 28, 29) ist dabei als energieabhängige Fokussierungseinrichtung (12, 20, 27, 28, 29) ausgebildet.The present invention relates to an energy filter device (1, 23) of particle radiation (3) of charged particles (3), the at least a focusing means (12, 20, 27, 28, 29), as well as at least one radiation separation before the direction (15, 17, 25, 30, 37) comprises. The at least a focusing means (12, 20, 27, 28, 29) is in this case, as a energy-dependent focusing means (12, 20, 27, 28, 29) formed.
