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体声波壁面剪切应力传感器
- 专利权人:
- 中国工程物理研究院电子工程研究所
- 发明人:
- 高杨,赵俊武,雷强,王雄,邱华诚,刘婷婷,袁明权,张茜梅
- 申请号：
- CN201620403004.9
- 公开号：
- CN205940822U
- 申请日:
- 2016.05.06
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 蒋斯琪
- 摘要：
- 本实用新型公开了体声波壁面剪切应力传感器，包括基底、支撑层、检测元件、敏感元件、外壳、上盖板和读出电路，基底位于支撑层下方，支撑层、外壳和上盖板之间形成一空腔结构；支撑层上安装位于空腔内的检测元件，检测元件上安装敏感原件；敏感元件的顶面与上盖板的顶面齐平，且敏感元件的顶部与上盖板的开口之间留有间隙；读出电路通过基底底部的焊盘与检测元件连接；本实用新型可以将表面摩阻转化为FBAR的应力载荷，进而改变FBAR的谐振频率，通过读出电路实现体声波壁面剪切应力传感器检测信号的读出或测量；具有体积小、灵敏度高、集成度高以及与被测物共形等特点；可望满足航空航天、武器工程、汽车等领域对摩阻传感器的应用需求。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
