ONO TOMIO,小野 富男,HENMI KAZUHIRO,逸見 和弘,HIGUCHI KAZUHIKO,樋口 和彦
申请号：
JP2016181987
公开号：
JP2018046512A
申请日:
2016.09.16
申请国别(地区):
JP
年份:
2018
代理人:
摘要：
PROBLEM TO BE SOLVED: To improve an area utilization ratio of a piezoelectric device.SOLUTION: A piezoelectric device 100 according to an embodiment comprises: a first electrode 101 provided on a first surface of a piezoelectric thin film 102 a circuit board 112 having an electrode pad 111 a plurality of columnar supports 103 provided between a second surface of the piezoelectric thin film 102 and the electrode pad 111 so as to fix the piezoelectric thin film 102 on the circuit board 112 and a plurality of second electrodes 104 extending from a part of the second surface of the piezoelectric thin film 102 and being electrically connected to the electrode pad 111 through side surfaces of the supports 103. The piezoelectric thin film 102, the first electrode 101, and the plurality of second electrodes 104 constitute a plurality of diaphragms 109, each of which is one vibration element. The plurality of supports 103 are provided at positions dividing the respective diaphragms 109. The first electrode 101 is provided so as to be shared by the plurality of diaphragms 109.SELECTED DRAWING: Figure 1COPYRIGHT: (C)2018,JPO&INPIT【課題】圧電デバイスの面積使用効率を向上すること。【解決手段】実施形態にかかる圧電デバイス100は、圧電薄膜102の第1面に設けられた第1電極101と、電極パッド111を備える回路基板112と、回路基板112に対して圧電薄膜102を固定するように、圧電薄膜102における第2面と電極パッド111との間に設けられた柱状の複数の支持体103と、圧電薄膜102の第2面の一部から支持体103の側面を介して電極パッド111に電気的に接続する複数の第2電極104と、を備え、圧電薄膜102と第1電極101と複数の第2電極104とは、それぞれが1つの振動要素である複数のダイアフラム109を構成し、複数の支持体103は、各ダイアフラム109を区画する位置に設けられ、第1電極101は、複数のダイアフラム109で共通に設けられている。【選択図】図1
