DRY BONDING SYSTEM COMPRISING A MICRO ELASTIC PARTICLE AND A METHOD THEREOF

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专利权人:

성균관대학교산학협력단

发明人:

방창현,백상열,김다완,이지현

申请号：

KR1020190017267

公开号：

KR1020200099648A

申请日:

2019.02.14

申请国别(地区):

KR

年份:

2020

代理人:

摘要：

The present invention comprises a plurality of microstructures having a sucker chamber formed on a substrate； And an elastic fine particle trapped so as to be movable within the chamber.본 발명은 기재 상에 형성된 빨판 챔버(sucker chamber)을 가지는 복수 개의 미세 구조물； 및 상기 챔버 내에 이동 가능하도록 갇혀 있는 탄성 미세 입자를 포함하는, 건식 접착 시스템에 관한 것이다

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/