Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V.
发明人:
Frank Hedrich,Matthias Storz,Gerhard Kattinger,Sophie Billat
申请号：
DE102013223372
公开号：
DE102013223372A1
申请日:
2013.11.15
申请国别(地区):
DE
年份:
2015
代理人:
摘要：
Vorgeschlagen wird eine Vorrichtung zur Bestimmung eines Strömungsparameters (VD) eines Fluidstroms (FS), insbesondere eines Atemgasstroms,mit einem Strömungssensor (10) zum Erzeugen eines mit dem Strömungsparameter (VD) korrespondierenden elektrischen Signals (ΔTIP), der einen Sensorchip (5) aufweist, der eine im Wesentlichen ebene Oberfläche (2) aufweist, an welcher ein thermisches Membransensorelement (12) angeordnet ist, wobei das thermische Membransensorelement (12) einen ersten Temperaturfühler (7) und einen zweiten Temperaturfühler (7) sowie ein zwischen den Temperaturfühlern (7, 7) angeordnetes Heizelement (3) aufweist, undmit einem Fluidkanal (17) mit einer Wandung (4) zum Führen des Fluidstroms in einer Strömungsrichtung (ST1), in welchem die Oberfläche (2) des Sensorchips (5) angeordnet ist, wobei der Fluidkanal (17) so ausgebildet ist, dass der Fluidstrom (FS) in der Strömungsrichtung (ST1) betrachtet zu beiden Seiten des Sensorchips (5) entlang einer selben geradlinigen Hauptströmungslinie (HSL) strömt,wobei die Oberfläche (2) des Sensorchips (5) parallel zu der Hauptströmungslinie (HSL) angeordnet ist und wobei der Oberfläche (2) des Sensorchips (5) ein Strömungsumlenkelement (6) zugeordnet ist, welches wenigstens einen Teilstrom (UTS) des Fluidstroms (FS) so um-lenkt, dass der Teilstrom (UTS) schräg gegen die Oberfläche (2) gerichtet ist.Proposed is a device for determining a flow parameter (vd) of a fluid flow (fs), in particular a flow of breathing gas,with a flow sensor (10) for generating a with the flow parameters (vd) corresponding electrical signal (δtip), a sensor chip (5) having a substantially planar surface (2) to which a thermal membrane sensor element (12) is arranged, wherein the thermal membrane sensor element (12) a first temperature sensor (7) and a second temperature sensor (7 ) as well as a between the temperature sensors (7, 7) heating element (3), andwith a fluid channel (17) with a wall (4) for guiding the flow of fluid in a dire
