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附着膜回收装置和附着膜的回收方法
专利权人:
夏普公司
发明人:
泽江清,迫野郁夫,冈博史,山本圭三,咲花由和,上野睦弘,上野龙三
申请号:
CN02119835.7
公开号:
CN1396042A
申请日:
2002.03.29
申请国别(地区):
中国
年份:
2003
代理人:
张天安
摘要:
本发明的附着膜回收装置具有对在操作室(22)内的台(26)上放置的、具有附着膜的成膜用机架(25),对上述附着膜产生水压为30MPa~200MPa的喷水的洗涤枪(51),用于将操作室(22)内设定成负压的排气扇(62),以能够密封的形式设置操作室(22),以抑制喷水产生的飞沫向外部飞散。在上述装置中,从具有金属或者金属化合物的附着膜的成膜用机架上,可经济地再利用上述附着膜,并且,成膜用机架的磨削量小,可以抑制废弃物的产生量。在上述装置中,由于通过喷水可增大得到的附着膜,能够简化并保证上述附着膜片的回收,因此,可以低成本化并促进上述附着膜的再利用。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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