The microfilter includes a polymer layer formed from an epoxy-based photodefinable dry film, and a plurality of apertures each extending through the polymer layer. Appropriate configurations and methods are provided to hold the microfilter to allow unique filter holder designs and rare cells to be collected and analyzed in the filter holder. The present invention also describes the use of microfilters and filter holders to collect rare cells from body fluids and perform analysis. Rare cells collected on microfilters according to embodiments of the invention can be used for medical and biological research applications.マイクロフィルタは、エポキシ系の光画定可能な乾燥膜から形成された高分子層と、高分子層を介してそれぞれ延在する複数のアパーチャと、を含む。ユニークなフィルタホルダの設計および希少細胞を収集し、フィルタホルダ内分析を実施可能にするためにマイクロフィルタを保持するのに適切な構成と方法が提供される。本発明はまた、体液から希少細胞を採取し、分析を実施するためのマイクロフィルタおよびフィルタホルダの使用を記載している。本発明の実施形態によるマイクロフィルタ上に収集された希少細胞は、医学および生物学研究用途に使用することができる。