膜层厚度检测装置
- 专利权人:
- 成都拓米智能系统技术有限公司
- 发明人:
- 刘书生,阙磊,魏启玉,秦晨
- 申请号：
- CN202222735393.3
- 公开号：
- CN218238736U
- 申请日:
- 2022.10.14
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2023
- 代理人:
- 摘要：
- 本实用新型的膜层厚度检测装置，包括检测单元，所述检测单元包括检测平台，所述检测平台的上表面适于放置镀膜基板；膜厚测量仪，所述膜厚测量仪位于检测平台的上方，所述膜厚测量仪的镜头朝向下侧；移动装置，所述移动装置与所述检测平台和所述膜厚测量仪中的至少一者相连，所述移动装置可带动所述检测平台和所述膜厚测量仪中的至少一者在水平方向上移动以便所述检测平台和所述膜厚测量仪可在水平方向上相对移动。因此，根据本实用新型的膜层厚度检测装置具有便于检测镀膜基板的膜厚度和检测效率以及精准度高的优点。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
