超声波探头及其制造方法以及超声波诊断装置
- 专利权人:
- 株式会社日立医疗器械
- 发明人:
- 佐光晓史,深田慎,石田一成
- 申请号：
- CN201180020499.7
- 公开号：
- CN102860045B
- 申请日:
- 2011.04.06
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2015
- 代理人:
- 摘要：
- 在本发明的超声波探头中，抑制衬里层和CMUT部的接合部分产生的热应力引起的CMUT部的翘曲，提高CMUT部与衬里层的粘合的耐久性。为此，具备：具有根据施加的偏置电压改变机电耦合系数或灵敏度的振动要素的CMUT部（20）；与CMUT部（20）的超声波发送面的背面侧粘合的衬里层（22）；隔着衬里层（22）与CMUT部（20）相对配置，抑制与衬里层（22）粘合的CMUT部（20）与衬里层（22）之间产生的热应力导致的CMUT部（20）的翘曲的热应力平衡部件（24）。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
