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微机械构件和用于制造微机械构件的方法
- 专利权人:
- 罗伯特·博世有限公司
- 发明人:
- S·安布鲁斯特,H·格鲁特杰克,F·沙茨,J·穆霍,F·N·恩吉蒙齐,J·巴德尔,K·德塞尔,R·施特劳布
- 申请号：
- CN201410424715.X
- 公开号：
- CN104418290B
- 申请日:
- 2014.08.26
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 侯鸣慧
- 摘要：
- 本发明提供了一种微机械构件和一种用于制造微机械构件的方法。该构件具有：一框架(40)；一板簧(20)，其与所述框架(40)连接，并且板簧具有前侧面(F20)和背侧面(B20)，背侧面与前侧面(F20)背离；一反射镜元件(10)，其布置在板簧(20)的前侧面(F20)上并且与所述板簧(20)的前侧面(F20)以如下方式连接，即，反射镜元件(10)能调节地悬挂在框架(40)上；和至少一个压电条(30、31)，至少一个压电条与板簧(20)的背侧面(B20)连接；其中，通过施加电压到至少一个压电条(30、31)上，板簧(20)能够为了调节反射镜元件(10)而弹性地变形。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
