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压力脉搏波传感器的检查方法及压力脉搏波传感器的制造方法
- 专利权人:
- 欧姆龙健康医疗事业株式会社
- 发明人:
- 鴫原教子,加藤雄树,若宫祐之,小椋敏彦
- 申请号：
- CN201680051684.5
- 公开号：
- CN108024736A
- 申请日:
- 2016.08.31
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供一种能够了解使用环境的变化对压力脉搏波的检测精度产生的影响的压力脉搏波传感器的检查方法。传感器芯片(10)具有半导体基板(10A)和端子部(10B、10C),半导体基板(10A)在因凹部(10a)而在厚度变薄的部分形成有感压元件列(10D),端子部(10B、10C)与感压元件列(10D)电连接,在以使凹部(10a)仅通过基板(11)的贯通孔(11D)与大气连通的方式,将该传感器芯片(10)粘接固定于基板(11)之后,用引线(W1、W2)将基板(11)的端子部(11B、11C)与传感器芯片(10)的端子部(10B、10C)连接,然后,在从贯通孔(11D)吸引空气来对形成有感压元件列(10D)的面施加负压的状态下,基于从基板(11)的端子部(11B、11C)输出的信号进行传感器芯片(10)的特性评估。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
