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片材搬运装置、具备该片材搬运装置的片材加工装置、以及使用片材搬运装置的片材搬运方法及片材加工方法
- 专利权人:
- 株式会社瑞光
- 发明人:
- 佐藤仁,有马卓志,宇谷晃司
- 申请号：
- CN201880032122.5
- 公开号：
- CN110730646A
- 申请日:
- 2018.11.05
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 搬运装置(10)包括:保持机构(17),在吸附面沿着以第一轴(J1)为中心的圆的圆周隔开间隔地排列且吸附构件(11、12)能够以第一轴(J1)为中心进行旋转的状态下,对吸附构件(11、12)进行保持;驱动装置(14),具有能够以平行于第一轴(J1)的第二轴(J2)为中心进行旋转的旋转轴(14b)、以及将旋转轴(14b)与吸附构件(11、12)连结的连结机构;以及支撑机构,对所述保持机构(17)和所述驱动装置(14)进行支撑。连结机构在吸附构件(11、12)能够沿着以第一轴(J1)为中心的圆的半径方向移动的状态下,与吸附构件(11、12)相连接。支撑机构对保持机构(17)和驱动装置(14)进行支撑,以使保持机构(17)和驱动装置(14)能够在与第一轴(J1)正交的方向上相对移动。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
