PURPOSE: A minute electrode array and a manufacturing method thereof are provided to be stably applied to a human body.CONSTITUTION: A minute electrode array comprises microelectrodes(350) which are made of silicone, and an insulating supporter(200) which supports the microelectrodes to electrically and mutually isolates the microelectrodes. The insulating supporter is made of soft Polydimethylsiloxane. The microelectrodes are formed in a sharp needle. The insulating supporter prevents the microelectrodes from being deviating from an arrangement.COPYRIGHT KIPO 2013미세전극 배열체 및 그 제작방법이 개시된다. 보다 상세하게는 본 발명은, 미세전극 배열체를 제작하기 위해서 일 실시예로서, 복수 개로 형성되는 실리콘 재질의 미세전극들 및 미세전극들이 상호간 전기적으로 격리되도록 미세전극들을 지지하는 절연성 지지체를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세전극 배열체를 개시한다. 이에 의하면 미세전극 배열체에 있어서 절연체를 유리로 하지 아니하므로, 제작과정에서 퍼니스(furnace)공정 및 유리가루 제거를 위한 후처리 공정이 불필요하여 공정 수 및 공정 시간을 줄일 수 있는 장점이 있다. 또한, 본 발명에 따른 미세전극 배열체는 유연성 재질의 절연체가 미세전극들을 지지하므로 인체 조직에 적용할 때, 굴곡진 형태의 조직, 예를 들면,peripheral nerve 등 다양한 형상의 인체 조직에 안정적으로 고정이 가능하며, 외력 등 외부환경 요인에 의한 미세전극의 파손 및 생체조직의 손상 등의 염려가 적게 되는 장점이 있다.
