Having a first space to the pressure detection surface side of the diaphragm has a diaphragm for detecting pressure using a pressure detection surface facing the first space, and outputs an electrical signal corresponding to the detected pressure MEMS a pressure sensor, a first film sheet supporting the MEMS pressure sensor is placed in contact with the portion to be measured, larger than communicating and the first space into the first space, the pressure detection surface a MEMS pressure sensor device comprising a first film sheet having a second space having a direction size parallel to, the second having a third space having a size in a direction parallel to the pressure detection surface a film sheet, further comprising prior to placing the MEMS pressure sensor device to the unit under test, a second film sheet for mounting as part of the measured part is located at the third space.ダイアフラムの圧力検出面側に第1の空間を有し、第1の空間に対面する圧力検出面を用いて圧力の検出を行うダイアフラムを有し、検出した圧力に対応する電気信号を出力するMEMS圧力センサと、MEMS圧力センサを支持して被測定部に接触して載置される第1のフィルムシートであって、第1の空間に連通しかつ第1の空間よりも大きな、圧力検出面に平行な方向のサイズを有する第2の空間を有する第1のフィルムシートとを備えるMEMS圧力センサ装置であって、圧力検出面に平行な方向のサイズを有する第3の空間を有する第2のフィルムシートであって、MEMS圧力センサ装置を被測定部に載置する前に、被測定部の部位が第3の空間に位置するように載置するための第2のフィルムシートをさらに備える。
