GOOS EVI,구스 에비,DONITZKY CHRISTOF,도니츠키 크리스토프,WUELLNER CHRISTIAN,부엘르너 크리스티안
申请号：
KR1020147019398
公开号：
KR1020140109957A
申请日:
2011.12.13
申请国别(地区):
KR
年份:
2014
代理人:
摘要：
A test device to calibrate the pulse energy of a laser device which provides pulsed laser radiation includes a measuring head with multiple measuring probes. The test device is used in such a way that by means of the laser radiation, multiple test ablations are made on a test surface, in an arrangement corresponding to the relative spatial arrangement of the measuring probes, and the depths of the test ablations are then measured, with simultaneous use of the multiple measuring probes of the measuring head.펄스형 레이저 방사선을 제공하는 레이저 장치(12)의 펄스 에너지를 교정하기 위한 테스트 장치는 다수의 측정 탐침(30)을 갖는 측정 헤드(20)를 포함한다. 테스트 장치는 레이저 방사선에 의해 다수의 테스트 절제가 측정 탐침의 상대적인 공간 배치에 대응하는 배치로 테스트 표면(28)상에서 이루어지고 그후 테스트 절제의 깊이가 측정 헤드의 다수의 측정 탐침의 동시적인 사용에 의해 측정되는 방식으로 사용된다.
