Pressure sensor, sensor probe with pressure sensor, medical device with sensor probe, and method of manufacturing sensor probe

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专利权人:

ネイダーランゼ オルガニザティー ボー トゥーゲパスト－ナ トゥールウェテンシャッペルーク オンダーツォーク ティーエヌオー;コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ

发明人:

デッケル ロナルド,ファン デル フラーフ フレデリク,フェルタイス ヨハネス エフ エム,ハールトセン ヤコブ アール

申请号：

JP2010522485

公开号：

JP5734652B2

申请日:

2008.08.19

申请国别(地区):

JP

年份:

2015

代理人:

摘要：

A pressure sensor includes a flexible membrane deformable in response to pressure. The flexible membrane covers a cavity and includes a strain gauge that produces signals corresponding to deformation of the flexible membrane. The flexible membrane is a flexible monolithic integrated circuit foil.

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/