電磁波検出器、電磁波検出器アレイ、およびガス分析装置
- 专利权人:
- 三菱電機株式会社
- 发明人:
- 小川 新平,藤澤 大介
- 申请号：
- JP20160554894
- 公开号：
- JPWO2016167052(A1)
- 申请日:
- 2016.03.09
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 波長λＡの電磁波を選択的に検出する電磁波検出器が、中空部を有する基板と、所定の波長λＡの電磁波と表面プラズモン共鳴を生じ、これを熱に変換して吸収する波長選択構造と、吸収された熱を検出する検知膜と、を含む温度検知部と、温度検知部を中空部の上に保持する支持構造と、を含み、支持構造は、更に、支持構造が有する吸収波長の電磁波を反射する反射構造を備える。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
