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一种基于VO2薄膜的柔性呼吸传感器及其制备方法
- 专利权人:
- 电子科技大学
- 发明人:
- 林媛,廖非易,姚光,梁伟正,张胤
- 申请号：
- CN201610622684.8
- 公开号：
- CN106308802A
- 申请日:
- 2016.08.01
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明属于功能材料合成领域，具体涉及一种基于氧化钒(VO2)薄膜的柔性呼吸传感器及其制备方法，克服了VO2纳米线传感器测量误差大、制备工艺复杂以及应用难度大的缺陷。本发明基于VO2薄膜的柔性呼吸传感器，包括聚酰亚胺薄膜、设置于聚酰亚胺薄膜上的平行金电极、覆盖于平行金电极上的VO2薄膜、以及覆盖于VO2薄膜上的聚二甲基硅氧烷；该呼吸传感器基于VO2薄膜实现，其结构简单、制备工艺简单、制备成本低，对呼吸频率、呼吸深度具有良好的监测，测量误差小；同时，本发明还提供该呼吸传感器的制备方法，该制备方法工艺简单、成本低廉，具有良好的工艺可控性和重复性，有利于大规模批量化生产。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
