PROBLEM TO BE SOLVED: To realize a micro-shock detection sensor having high noise rejection capacity and high reliability against a fault of a sensor head, always performing micro-shock detection contactlessly on a test object through which a current flows, making realtime monitoring possible.SOLUTION: For reliability improvement, two ganged sensors for current detection are arranged, and a difference in measured value is greater than or equal to a prescribed value, a fault is assumed and an alarm is issued. Normal mode noise due to fluctuation in an external magnetic field and common mode noise due to fluctuation in electrostatic induction are cancelled each other by two sensor coils having yes-no and yes-yes combinations of test object grasping and further offset between the sensors. Furthermore, reliability improvement and cancellation of external noise by duplexing using three or more sensors are realized. The test object is pushed for fixation by a nonmagnetic substance and removal of the test object is thereby facilitated, making it possible to prevent noise caused by its movement or vibration during operation.SELECTED DRAWING: Figure 6COPYRIGHT: (C)2018,JPO&INPIT【課題】ノイズ除去能力が高く、センサヘッドの故障に対しての信頼性も高いミクロショック検出センサを実現する。電流の流れる検体には非接触で常にミクロショック検出動作を行い、リアルタイムにモニター可能とする。【解決手段】信頼性向上のため、電流検出用のセンサを2連に配置し、測定値差が所定値以上である場合、故障と判断して警報を出す。また、外部磁界の変動によるノーマルモードノイズ、静電誘導の変動によるコモンモードノイズについては、検体の把持がそれぞれ有無および有有の組み合わせの2つのセンサコイルで相殺し、さらにセンサ間で相殺する。また、センサを3個以上使用して、2重化による信頼性の向上と外部ノイズの相殺を同時に実現する。検体を非磁性体で圧迫して固定することで、検体の取り外しが容易になり、稼働時におけるその移動または振動に起因するノイズを防止できる。【選択図】図6
