一种硅片自动揭膜机
- 专利权人:
- 天津环鑫科技发展有限公司
- 发明人:
- 武鹏,王彦君,孙晨光,徐长坡,刘闯,王万礼,张晋英,李子科,杜宏强,王志明,赵杨,杜晓辉,张新玲,刘丽媛,董子旭,刘文彬,乔智,印小松,刘晓芳,张建,张喆,徐阳
- 申请号：
- CN201721166450.3
- 公开号：
- CN207389773U
- 申请日:
- 2017.09.12
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 栾志超
- 摘要：
- 本实用新型提供一种硅片自动揭膜机，包括机台，机台上设有机械手、UV照射机构、载台和揭膜机构，揭膜机构设于载台的上方,揭膜机构包括胶带输送机构和胶带压合机构，胶带输送机构上绕有胶带，胶带压合机构设于载台上方的胶带的上侧，UV照射机构包括UV灯和灯罩，UV灯设于灯罩内，灯罩的底部可打开。该揭膜机自动化程度高，照射机构结构合理，对硅片照射完全、无死角，处理效果好，揭膜困难性低，照射机构热量可及时从照射机构中引出，设备损坏率低。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
