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一种柔性单层导电微结构人工耳蜗电极及制作方法
专利权人:
SHANDONG UNIVERSITY;山东大学
发明人:
TIAN, Lan,田岚,LU, Xiaoshan,陆小珊,BAI, Shuzhong,白树忠
申请号:
CNCN2018/125450
公开号:
WO2019/157872A1
申请日:
2018.12.29
申请国别(地区):
CN
年份:
2019
代理人:
摘要:
Provided are a flexible single-layer conductive microstructure artificial cochlear electrode and a manufacturing method thereof. An artificial cochlear electrode array component is designed according to the cochlear auditory nerve ending occupation distribution rule and manufactured using a biocompatible insulating flexible film material through the steps of preparation of a substrate thin film, deposition of an adhesion layer and a metal layer, stripping of the film, curling and shaping, and fixing and packaging. Specifically, a biocompatible insulating material is spin coated on a substrate; photoresist is spin coated on the insulation material layer, covered with a designed substrate mask, and exposed; exposed thin film is developed in a developer solution, then heat is applied at a suitable temperature; an adhesion layer is deposited or plated by electron beam evaporation on the side having the photoresist; a conductive metal layer is further deposited or plated by electron beam evaporation on the side having the photoresist; the photoresist is washed off, and the processed flexible film having a metal conductive structure is peeled off from the hard substrate; shaping; and fixing and packaging.L'invention concerne une électrode cochléaire artificielle à microstructure conductrice monocouche flexible et son procédé de fabrication. Un composant de réseau d'électrodes cochléaires artificielles est conçu selon la règle de distribution d'occupation de terminaison de nerf auditif cochléaire et fabriqué à l'aide d'un matériau de film flexible isolant biocompatible au moyen de l'exécution des étapes de préparation d'un film mince de substrat, de dépôt d'une couche d'adhérence et d'une couche métallique, de décapage du film, de roulage et de mise en forme, et de fixation et de conditionnement. Spécifiquement, un matériau isolant biocompatible est déposé par centrifugation sur un substrat; une résine photosensible est appliquée par centrifugation sur la couche de matéria
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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