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DETECTION DEVICE
专利权人:
TOHOKU UNIV;国立大学法人東北大学;日本光電工業株式会社;NIPPON KODEN CORP
发明人:
ONO TAKAHITO,小野 崇人,ONO YOSHINOBU,斧 嘉伸
申请号:
JP2015163541
公开号:
JP2017041824A
申请日:
2015.08.21
申请国别(地区):
JP
年份:
2017
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a detection device capable of detecting an elastic wave with high accuracy.SOLUTION: A detection device 100 which detects an elastic wave propagated through air, comprises: a plate-like first electrode 12 which has a cantilever structure with a fixed end FX and a free end FR and vibrates when bent by the elastic wave; and a plate-like second electrode 32 which is arranged opposite to the first electrode 12 with a predetermined distance therefrom. The detection device 100 is configured to detect the elastic wave on the basis of a change in electrostatic capacity between the first electrode 12 and the second electrode 32. An edge of the second electrode 32 in a direction from the fixed end FX to the free end FR is located closer to the fixed end FX than the free end FR.SELECTED DRAWING: Figure 3【課題】弾性波を高い精度にて検出できる検出装置を提供すること。【解決手段】検出装置100は、空気を介して伝搬される弾性波を検出する。検出装置100は、固定端FX及び自由端FRを有するカンチレバー構造を有するとともに、上記弾性波によって湾曲することにより振動する板状の第1の電極12と、第1の電極12と所定の距離を隔てて対向する板状の第2の電極32と、を備える。検出装置100は、第1の電極12と第2の電極32との間の静電容量の変化に基づいて上記弾性波を検出する。固定端FXから自由端FRへ向かう方向における第2の電極32の端は、自由端FRよりも固定端FX側に位置する。【選択図】図3
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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