一种玻璃微流控芯片及制作方法
- 专利权人:
- 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 发明人:
- 金庆辉,庄贵生,刘菁,贾春平,赵建龙
- 申请号：
- CN200510023895.1
- 公开号：
- CN1648663B
- 申请日:
- 2005.02.06
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2011
- 代理人:
- 潘振甦
- 摘要：
- 本发明提出了一种玻璃微流控芯片及制作方法，更确切地说是一种基于SU-8光敏胶做中间层的微流控芯片及制作方法，本发明采用玻璃作衬底材料，SU-8做中间层，芯片制作过程对玻璃表面的平整度不敏感。本方法通过一层稀释的SU-8层实现先光刻显影制得微管道，再与玻璃盖片直接键合的过程，克服了以往方法先键合，后光刻和显影产生的显影时间不均一，管道不平整的缺点。选用紫外高透过率的石英作衬底材料，利用本法可以方便制备用于紫外吸收检测的微流控芯片。因此本发明建立了一种低成本、高成功率的微流控芯片制作方法。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
