The spectroscopic measurement apparatus of the present invention comprises a light source 101 for causing P polarized light, which is linearly polarized light whose oscillation direction of the electric field is parallel to the incident surface, to be incident at a Brewster angle on the surface of the measurement object, An introduction optical system 103 for introducing the emitted measurement light into the phase shifter 105 to divide it into two measurement lights, an interference optical system 106 for forming interference light of the two measurement lights, interference A processing unit 201 for obtaining an interferogram of the measurement light on the basis of a change in the intensity of the interference light obtained by driving the phase shifter 105 and a processing unit 201 for performing Fourier transform on the interferogram of the measurement light And a calculation unit 202 for obtaining the spectrum of the measurement light.本発明の分光測定装置は、測定対象の表面に、電場の振動方向が入射面と平行な直線偏光であるP偏光をブリュースター角で入射させる光源101と、P偏光が入射された測定対象から発せられた測定光を位相シフタ105に導入して2つの測定光に分割する導入光学系103と、2つの測定光の干渉光を形成する干渉光学系106と、干渉光の強度を検出する干渉光検出部107と、前記位相シフタ105を駆動することにより得られる干渉光の強度変化に基づき前記測定光のインターフェログラムを求める処理部201と、測定光のインターフェログラムをフーリエ変換することにより測定光のスペクトルを求める演算部202とを備える。
