化学机械平整方法、氧化铝粉浆料的用途和定制加工的磨料

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专利权人:

圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司

发明人:

A·K·加格,B·V·塔尼克拉,W·R·德莱尼

申请号：

CN00813767.6

公开号：

CN100396749C

申请日:

2000.08.30

申请国别(地区):

中国

年份:

2008

代理人:

张宜红

摘要：

本发明涉及一种CMP方法，它采用含有α氧化铝颗粒的氧化铝，所述氧化铝颗粒的宽度小于50nm，表面积至少为50m²/gm。

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/