The present invention relates to a sterilizing method, and more specifically, to a sterilizing method for storing a sterilizing object inside a chamber for sterilizing which comprises the following steps: a decompression step of decompressing the inside of the chamber a concentration step of heating oxygenated water for evaporating water and concentrating the oxygenated water into a desired concentration a steam supplying step of supplying at least parts of steam evaporated during the concentration step into the chamber a steam discharging step of discharging the steam from the chamber a sterilizing step of heating and evaporating the oxygenated water concentrated by the concentration step to obtain sterilizing gas, and supplying the sterilizing gas into the chamber for sterilizing the sterilizing object inside the chamber and a sterilizing gas discharging step of discharging the sterilizing gas from the chamber.COPYRIGHT KIPO 2014[Reference numerals] (S100) Decompression step (S200) Concentration step of heating oxygenated water (S300) Steam supplying step of supplying steam into a chamber (S400) Steam discharging step of discharging the steam from the chamber (S500) Sterilizing step of heating and evaporating the concentrated oxygenated water (S600) Sterilizing gas discharging step of discharging the sterilizing gas from the chamber본 발명은 멸균방법에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 피멸균물을 챔버 내에 수용하여 멸균하는 멸균방법에 있어서, 상기 챔버 내부를 감압하는 감압공정 과산화수소수를 가열하여 물만 기화시키면서 원하는 농도로 과산화수소수를 농축시키는 농축공정 상기 농축공정에서 기화된 수증기 중 적어도 일부를 챔버 내부로 공급하는 수증기 공급공정 상기 챔버 내의 수증기를 배기하는 수증기 배기공정 상기 농축공정에서 농축된 과산화수소수를 가열하여 기화시켜 멸균가스를 생성하고, 생성된 멸균가스를 상기 챔버 내부로 공급하여 챔버 내의 피멸균물을 멸균시키는 멸균공정 및 상기 챔버 내의 멸균가스를 배기하는 멸균가스 배기공정을 포함하는 멸균방법에 대한 것이다.