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ÉLÉMENT D'APPUI SOUPLE PLAT POUR UN TRAITEMENT PAR PLASMA À BARRIÈRE DIÉLECTRIQUE
专利权人:
Cinogy GmbH;Cinogy GmbH
发明人:
HAHNL, Mirko,STORCK, Karl-Otto,TRUTWIG, Leonhard,WANDKE, Dirk
申请号:
EP17832909.0
公开号:
EP3566552A1
申请日:
2017.12.20
申请国别(地区):
EP
年份:
2019
代理人:
摘要:
Bei einem flächigen flexiblen Auflagestück mit einer mit einer Hochspannung versorgbaren Elektrodenanordnung für eine dielektrisch behinderte Plasmabehandlung einer zu behandelnden Oberfläche, wobei die Elektrodenanordnung wenigstens eine flächige Elektrode (3) und eine Auflagefläche für die zu behandelnde Oberfläche aufweisende Dielektrikumsschicht (2) aus einem flächigen flexiblen Material aufweist, die die wenigstens eine Elektrode (3) elektrisch von der zu behandelnden Oberfläche so abschirmt, dass nur ein dielektrisch behinderter Stromfluss zwischen der wenigstens einen Elektrode (3) und der zu behandelnden Oberfläche möglich ist, wenn in einem Gasraum zwischen der Elektrodenanordnung und der zu behandelnden Oberfläche ein Plasmafeld durch die Vorspannung der Elektrode (3) entsteht, wird eine vereinfachte Handhabung und erhöhte Sicherheit dadurch erreicht, dass das Auflagestück eine Hochspannungsstufe (14) zur Erzeugung einer Hochspannung aufweist, deren Ausgang mit der wenigstens einen Elektrode (3) durch ein Verbindungsstück (17, 17') auf dem Auflagestück verbunden ist.In the case of a flat flexible support piece comprising an electrode arrangement, to which a high voltage can be supplied, for a dielectrically impeded plasma treatment of a surface to be treated, wherein the electrode arrangement has at least one flat electrode (3) and a dielectric layer (2) which has a support face for the surface to be treated and which is composed of flat flexible material and which electrically shields the at least one electrode (3) from the surface to be treated such that only a dielectrically impeded current flow between the at least one electrode (3) and the surface to be treated is possible when a plasma field is produced by the bias on the electrode (3) in a gas space between the electrode arrangement and the surface to be treated, simplified handling and increased safety are achieved in that the support piece has a high-voltage stage (14) for generating a high voltag
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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