PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultrasonic device contributive to enhancement of accuracy of ultrasonic measurement.SOLUTION: An ultrasonic device 17 includes a substrate 44. On the substrate 44, an element array including a plurality of ultrasonic transducer elements 23, arranged in array, is formed. An acoustic matching layer 51 is formed of a base metal 57 and a filler 58, and covers the element array. In the plan view of the substrate 44 in the thickness direction, the ratio of occupied volume of the filler 58 per unit volume between adjoining ultrasonic transducer elements 23 is large, compared with the range of the ultrasonic transducer elements 23.COPYRIGHT: (C)2015,JPO&INPIT【課題】超音波測定の精度の向上に寄与する超音波デバイスを提供する。【解決手段】超音波デバイス17は基板44を備える。基板44上には、アレイ状に配置された複数の超音波トランスデューサー素子23を含む素子アレイが形成される。音響整合層51は、母材57およびフィラー58で形成されて素子アレイを覆う。基板44の厚み方向の平面視で、超音波トランスデューサー素子23の範囲に比べて、隣り合う超音波トランスデューサー素子23の間で単位体積当たりのフィラー58の占有体積の割合は大きい。【選択図】図5
