반송 장치의 아암과 처리 장치의 핀의 사이에서 기판을 주고받음할 때에, 연직 방향의 주고받음 위치를 효율적으로 교시한다. 반송 아암(32)을 연직 방향 상방으로 기준 위치(Z1)로부터 소정 거리 이동시킨다(도 5의 (b), 공정(A2)). 반송 아암(32)을 수평 방향으로 이동시킨다(도 5의 (c), 공정(A3)). 반송 아암(32)을 연직 방향 하방으로 소정 거리 이동시킨다(도 5의 (d), 공정(A4)). 반송 아암(32)에 보지된 웨이퍼(W)의, 상기 반송 아암(32)에 대한 수평 방향의 위치를 검출한다(도 5의 (g), 공정(A7)). 공정(A1 내지 A7)의 일련 공정을 반복하여 실행하며, 또한 이 일련 공정을 실행할 때마다, 공정(A1)에 있어서의 기준 위치를 연직 상방으로 소정 거리 이동시킨다. 공정(A7)에서 검출된 수평 방향의 위치가 소정 위치로부터 어긋난 경우의, 반송 아암(32)의 연직 방향의 위치를 웨이퍼(W)의 주고받
