This plasma irradiation apparatus is provided with: an irradiation instrument which has a plasma generation part and which discharges plasma generated by the plasma generation part and/or an active gas generated by the plasma； a supply unit which supplies electricity and a gas for plasma generation to the irradiation instrument； a support part which extends upward from the supply unit； an electricity/gas supply line which connects the irradiation instrument and the supply unit； and a connection member which connects the support part with the irradiation instrument and/or the electricity/gas supply line. The irradiation instrument is retained, by the support part and the connection member, at a position higher than the installation plane of the supply unit.Cet appareil d'irradiation par plasma comprend : un instrument d'irradiation qui comporte une partie de génération de plasma et qui évacue un plasma généré par la partie de génération de plasma et/ou un gaz actif généré par le plasma； une unité d'alimentation qui fournit de l'électricité et un gaz pour la génération de plasma vers l'instrument d'irradiation； une partie de support qui s'étend vers le haut à partir de l'unité d'alimentation； une conduite d'alimentation en électricité/gaz qui relie l'instrument d'irradiation et l'unité d'alimentation； et un élément de raccordement qui relie la partie de support à l'instrument d'irradiation et/ou à la conduite d'alimentation en électricité/gaz. L'instrument d'irradiation est retenu, par la partie de support et l'élément de raccordement, à une position supérieure au plan d'installation de l'unité d'alimentation.プラズマ発生部を有し、前記プラズマ発生部にて発生したプラズマ及び前記プラズマによって生じる活性ガスの少なくとも一方を吐出する照射器具と、前記照射器具に電力及びプラズマ発生用ガスを供給する供給ユニットと、前記供給ユニットから上方向に延びる支持部と、前記照射器具と供給ユニットとを連結する電力／ガス供給ラインと、前記照射器具及び電力／ガス供給ラインの少なくとも一方と前記支持部とを連結する連結部材と、を備えるプラズマ照射装置であって、前記支持部及び前記連結材により、前記照射器具が、前記供給ユニットの設置面よりも上方の位置に維持されるプラズマ照射装置。
