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一种压电石英晶体晶片倒边实现效果的测量方法
- 专利权人:
- 廊坊中电熊猫晶体科技有限公司
- 发明人:
- 梁生元,白利才,李欢,李冬强
- 申请号：
- CN201310182751.5
- 公开号：
- CN103293227A
- 申请日:
- 2013.05.17
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2013
- 代理人:
- 沈根水
- 摘要：
- 本发明是一种压电石英晶体晶片倒边实现效果的测量方法，包括1）压电石英晶体晶片使用倒边工艺加工；2）用测量仪器测量其基频频率f1和三次泛音频率f3，并计算其相关值Deltaf=3*f1-f3；3）当晶片制造成的压电石英晶体元器件被证明完全符合性能品质要求后，今后再制造该规格晶片时，在晶片倒边加工工序，即以Deltaf值是否符合来判断压电石英晶体晶片倒边实现设计的效果。优点：本发明是在对倒边过程中或倒边完成后，测量压电石英晶体晶片基频频率与三次泛音频率之差值，解决了传统依据倒边时间或只测量晶片基频频率等方法判断倒边实现度的不准确性，对各类压电石英晶体晶片倒边效果的有效控制有推广的价值。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
