Namely, CNT microneedle and microneedle array fabrication is contemplated in which the starting-material carbon nanotube pillars are refined in shape. Through oxygen plasma etching action or treatment, CNT pillars are transformed to microneedles having micronsize ends to enable an easy and painless skin penetration. Both direct and remote oxygen plasma treatments can be used to etch the CNT pillars, as long as the etching rate at the top of the pillar is higher than that at the bottom of the pillar. A direct oxygen plasma treatment is preferable when a thick crust layer composed of highly entangled CNT or amorphous carbon presents at the top of the CNT pillars due to its anisotropic etching properties.La présente invention concerne la fabrication de microaiguilles en nanotubes de carbone et de réseaux de microaiguilles, processus dans le cadre duquel les colonnes de nanotubes de carbone servant de matériau de départ sont de forme affinée. Grâce à un traitement par plasma doxygène ou à laction de gravure de ce dernier, des colonnes de nanotubes de carbone sont transformées en microaiguilles pourvues dune pointe de taille micronique afin de permettre une pénétration facile et indolore dans la peau. Il est possible dutiliser des traitements faisant appel à un plasma doxygène direct ou à distance pour graver les colonnes de nanotubes de carbone, tant que la vitesse de gravure au sommet de la colonne est plus élevée quau bas de la colonne. Un traitement par plasma doxygène direct est préférable lorsquune couche formant une croûte épaisse constituée de nanotubes de carbone très enchevêtrés ou de carbone amorphe est présente au sommet des colonnes de nanotubes de carbone, du fait de ses propriétés en matière de gravure anisotrope.
